МЕМ 
У 
(Мсго-Неспотесбамса! 
$узетм) 
- 
это 
множество 
микроустройств,
имеющих — разнообразные 
конструкции 
и 
назначение, 
в 
производстве — которых
используются — модифицированные — технологические — приемы — микроэлектроники.
Микроэлектромеханические 
системы 
(МЕМ$) 
получаются 
путем 
комбинирования
механических элементов, датчиков и электроники на общем кремниевом основании
посредством технологий микропроизводства. Все элементы могут быть реализованы в
виде 
единого 
изделия, 
причем 
сразу 
десятками 
или 
сотнями, 
как 
микросхемы 
на
кремниевой пластине. Эта технология основывается на апробированной традиционной
технологии производства полупроводниковых интегральных микросхем [ВЕтпез{ О.РобеПп,
2004].
Как известно, при разработке измерительных датчиков традиционно используются
физико-технические 
эффекты 
(ФТЭ), 
имеющие 
различную 
физическую 
природу:
гидравлические, тепловые, магнитные, электрические, пневматические, акустические и др.
С 
помощью 
изменения 
конструктивных 
размеров, 
форм 
или 
свойств 
элементов
конструкции — разрабатывались — различные — датчики 
с 
разными — техническими
характеристиками. Таким образом, иногда удавалось разрабатывать датчики с хорошими
техническими характеристиками.
Однако в МЕМ $-технологии процесс преобразования одной величины в другую
происходит на молекулярном уровне. 
Это несравнимо 
повышает чувствительность
преобразования сигналов, существенно уменьшает масса-габаритные размеры устройств
(разрабатываются микро- или миниатюрные датчики) и упрощает получение цифрового
сигнала 
на 
выходе. 
Поэтому 
— микроэлектромеханические 
системы — позволят 
с
минимальными затратами повысить чувствительность и механическую отдачу устройств
на уровне кристаллов.
Эксперты ведущих западных стран полагают, что МЕМ $-технология привносит
буквально революционные изменения в каждую область применения путем совмещения
микроэлектроники на основе кремния с микромеханической технологией, что позволяет
реализовать систему на одном кристалле 50С (Зузметс-оп-а-СЫр). Так МЕМ У-технология
дает новый импульс развитию информационно-измерительных систем, открыв путь к
разработке «умных» изделий, увеличив вычислительные способности микродатчиков и
расширив возможности дизайна таких систем [Дж. Фрайден. 2006].
Сегодня МЕМ$-датчики можно применять во всех областях промышленности, в
том 
числе 
гидромелиоративных 
систем. 
Это 
могут 
быть 
миниатюрные 
детали
(гидравлические и пневмоклапаны, струйные сопла принтера, пружины для подвески
головки винчестера), микроинструменты (скальпели и пинцеты для работы с объектами
микронных размеров), микромашины (моторы, насосы, турбины величиной с горошину),
микророботы, — микродатчики 
— и — исполнительные — устройства, — аналитические
микролаборатории (на одном кристалле) и т. д.
В настоящее время 
авторами ведутся исследования по разработке датчиков
линейных и угловых перемещений, ускорения для гидромелиоративных систем, а также
емкостные датчики для измерения расхода воды в трубопроводе основанные на МЕМ5У
технологии. Более подробная информация будет представлена в докладе.
ЛИТЕРАТУРА:
1. ВгпезЕ О. РобеПп. Меавзигетеп!: Зузмет5: АррПсапоп апа дечсп. МсСтам - НШ.
Нтебег Еапсайоп. - Мем ХогК, 2004 — рр.1078
2. Фрайден Дж.. Современные датчики. — М.: Техносфера, 2006. — 586 с.
79